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サファイア研磨液
  • サファイア研磨液YG-D302

サファイア研磨液YG-D302

  • 製品概要:サファイア基板CMP研磨液は當(dāng)社が生産した新世代の水溶性高純度CMPスラリーであり、安定性がよく、濃度が高く、リサイクル可能などの特徴があり、サファイア基板の軟研磨加工技術(shù)に用いられ、ウエハ移動(dòng)率が高く、表面が平らであることを?qū)g現(xiàn)できる...
  • 商品の紹介

製品概要:サファイア基板CMP研磨液は當(dāng)社が生産した新世代の水溶性高純度CMPスラリーであり、安定性がよく、濃度が高く、リサイクル可能などの特徴があり、サファイア基板の軟研磨加工技術(shù)に用いられ、ウェハ移動(dòng)率を?qū)g現(xiàn)することができる
 
高、表面平坦度が高く、粗さが低く、表面には麻點(diǎn)、腐食ピットなどの微欠陥がなく、複數(shù)のパラメータが國際先進(jìn)レベルに達(dá)している。YG−D 302型CMPスラリーは、単質(zhì)シリコン加水分解プロセスを用いて調(diào)製されたより密度の良いコロイドであり、補(bǔ)助觸媒の面で改善され、除去速度が高く、表面品質(zhì)が良いなどの利點(diǎn)がある。
 
製品パラメータ:
 
外観:乳白色
 
PH値:10-12
 
比重:1.265-1.300
 
粘度(mPa.s,25*C)<5
 
粒子徑(nm):120?140
 
Si02% :38-42
 
製品特徴:不純物が少なく、洗浄しやすく、無毒で汚染がない。
 
製品適用:本製品は主に2、4、6インチサファイアバックシートの高品質(zhì)平坦化仕上げ加工技術(shù)に適用する。
ラベル:

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